5月19日，長江存儲終于盼來了自己的首臺光刻機。當(dāng)天中午，這臺價值7200萬美元、比黃金還金貴的設(shè)備，運抵了武漢天河機場。這臺來自全球最大的芯片設(shè)備制造商——荷蘭阿斯麥公司（ASML）的大家伙的到來，被外界看做中國芯片技術(shù)的重要突破。
好消息不止一個。就在幾天前，據(jù)《日經(jīng)亞洲評論》15日援引消息人士的話稱，中國芯片加工企業(yè)中芯國際（SMIC）也與同一家企業(yè)——荷蘭阿斯麥公司訂購了其首臺最先進的EUV（極紫外線）光刻機，價值1.2億美元。消息稱，這臺幾乎相當(dāng)于中芯國際去年全部凈利潤的設(shè)備，將于2019年初交付。
5月19日，長江存儲首臺光刻機運抵武漢天河機場。
光刻機為何物？
光刻機為何物？為何如此金貴？
香港《明報》5月22日報道稱，光刻機（又稱曝光機）是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，其作用是掃描曝光芯片晶圓，刻蝕集成電路。制造和維護需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)，世界上只有少數(shù)廠家掌握。因此光刻機的價格昂貴，通常在3000萬至5億美元不等。目前，雖然尼康、佳能等對手都在勉力競爭，但是自飛利浦獨立的阿斯麥公司掌握了90%以上的高端光刻機市場份額。精度愈高的光刻機，能生產(chǎn)出納米尺寸愈小、功能更強大的芯片。
世界最新最先進的兩代高端光刻機領(lǐng)域，即浸入式（Immersion）和極紫外線式（EUV）光刻機，全部由阿斯麥掌握核心技術(shù)。報道稱，小于5納米的芯片晶圓，目前只能用EUV光刻機生產(chǎn)。三星電子和臺積電目前正競爭生產(chǎn)7納米工藝技術(shù)芯片，這兩家都訂購了阿斯麥公司的EUV光刻機。目前，蘋果iPhone X和iPhone 8系列的核心處理器芯片，采用的是臺積電10納米工藝技術(shù)，而今年即將推出的新款iPhone將使用7納米工藝技術(shù)。
由此可知，擁有光刻機對芯片工藝的實現(xiàn)有著決定性的影響。
荷蘭阿斯麥公司廠區(qū)。（法新社）
