光刻機到底對中國禁不禁售？

物以稀為貴，作為世界上唯一能夠制造EUV光刻機的廠商，并且產(chǎn)量極低，阿斯麥全部產(chǎn)能早在生產(chǎn)之前就被預(yù)訂一空。根據(jù)《日經(jīng)亞洲評論》提供的數(shù)據(jù)，今年，臺積電已經(jīng)向阿斯麥訂購接近10臺EUV光刻機，三星約為6臺，英特爾為3臺。而阿斯麥在4月中旬舉行的財報會議上公開稱，今年計劃有20臺EUV光刻機交付，但并沒有說明訂單詳情。

由于《瓦森納規(guī)定》的存在，阿斯麥公司接連對中國企業(yè)接單，引發(fā)一些質(zhì)疑?！锻呱{協(xié)定》又稱瓦森納安排機制，全稱為《關(guān)于常規(guī)武器和兩用物品及技術(shù)出口控制的瓦森納協(xié)定》，目前共有包括美國、日本、英國、俄羅斯等42個成員。盡管“瓦森納安排”規(guī)定成員國自行決定是否發(fā)放敏感產(chǎn)品和技術(shù)的出口許可證，并在自愿基礎(chǔ)上向“瓦森納安排”其他成員通報有關(guān)信息。但“安排”實際上完全受美國控制。而中國、朝鮮、伊朗、利比亞等國均在被限制國家名單之中。當“瓦森納安排”某一國家擬向中國出口某項高科技技術(shù)時，美國甚至直接出面干涉，如捷克擬向中國出口“無源雷達設(shè)備”時，美便向捷克施加壓力，迫使捷克停止這項交易。

此前曾有一種說法，認為最高端的光刻機技術(shù)受到《瓦森納協(xié)定》影響，被禁止向中國大陸出售。然而，阿斯麥公司發(fā)言人則對《日經(jīng)亞洲評論》表示，該企業(yè)對包括中國客戶在內(nèi)的全球客戶都一視同仁。而且，向中國出售EUV光刻機并沒有違反《瓦森納協(xié)定》。

事實上，從中芯國際的官網(wǎng)可以了解到，中芯國際早在2014年10月27日，已經(jīng)與阿麥斯公司簽訂過一份光刻設(shè)備批量購買協(xié)議。這份批量購買訂單價值近4.5億歐元。阿斯麥總裁兼CEO彼得·溫尼克（Peter Wennink）在當時就表示：“中國對我們來說，是很重要的市場。通過這個協(xié)議，我們希望能在中國客戶中增加市場份額，占穩(wěn)一席之地。”

2017年10月，阿斯麥中國區(qū)總裁金泳璇在接受臺灣《電子時報》的采訪時也表示，阿斯麥對大陸芯片廠與國際客戶一視同仁，只要客戶下單，EUV要進口到中國完全沒有任何問題。在交期方面，所有客戶也都完全一致，從下單到正式交貨，均為21個月。金泳璇當時就曾透露，目前已有大陸芯片廠巨頭與阿斯麥展開7納米工藝制程的EUV訂單洽談，2019年大陸首臺EUV可望落地。而這對中國芯片廠來說無疑是一個好消息。

臺灣“中央社”稱，從2019年半導(dǎo)體芯片將進入7納米時代開始（現(xiàn)在處于10納米時代），EUV光刻機可以被稱為戰(zhàn)略性設(shè)備，沒有它就會使芯片制造寸步難行。

阿斯麥公司生產(chǎn)的光刻機。（阿斯麥官網(wǎng)）